台积电位于南科的晶圆18厂上个月底惊传遭到气体污染,外界一度忧心是否会影响苹果iPhone年度新机的出货进度。不过,目前看来,气体污染事件的影响极其轻微,主要是因为这个化学反应的关系。
台积电位于南科的晶圆18厂上周传出疑因氧气供应受到污染,导致部分产线停摆。由于晶圆18厂是台积电最先进的5纳米制程生产基地,大客户正是美商苹果,而8月又将进入iPhone处理器A15的生产旺季,引起市场高度关注后续影响。
当时,台积电就针对气体污染事件表示,已实时调度其他气体供应。为确保生产质量无虞,正进行严密后续作业;这事件目前已知对营运并无造成显著影响,后续将持续追踪。目前看来,该事件确实影响极其轻微。
据了解,当时晶圆18厂被污染,主要是因为半导体制程必备的氧气,被混入了氩气(Ar2)。氩气是一种无色无味的惰性气体,一般无害,但在高浓度下,会使人窒息。
这次晶圆18厂的氧气虽然遭到氩气污染,但因为氩气并不参与化学反应,所以对生产过程没有影响,工厂端只需要清洗储存槽即可。
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