沈阳IC装备企业斩获国家重大专项资金6.95亿元

近日，记者从沈阳市有关部门了解到，由沈阳富创精密设备有限公司承担的“十二五”国家科技重大专项“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”3月26日顺利通过国家02专项办验收。而浑南区已有新松机器人、芯源微电子、拓荆科技、富创精密等6家企业承担了14项国家02科技重大专项，累计获得国家资金支持6.95亿元，在政策支持下已形成相对完整的IC装备制造体系。

    IC装备被誉为装备制造业的“珠穆朗玛”，是芯片产业的基础设备，已成为先进装备制造业竞争的焦点。沈阳富创“IC(集成电路)设备关键零部件集成制造技术与加工平台”是围绕高效精密加工、表面处理、真空电子束焊等多个课题，突破了一系列技术关口，目前已建设成集精密机械加工、特种表面处理、精密焊接于一体的IC设备精密零部件综合服务平台，形成了达到国际水准的金属零部件表面处理及清洗试验线，通过了多项国际先进的表面处理制程认证以及世界IC设备整机龙头企业美国应用材料公司、日本东京电子公司40余项认证，富创精密已成为其全球战略供应商。

    沈阳市经信委表示，沈阳市多家企业能够跻身国家重大专项资金支持，表明沈阳IC装备制造企业在科技创新方面不断取得新的进展，日益集聚老工业基地振兴发展的新动能。沈阳富创“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”项目打破了该领域核心零部件长期依赖国外进口的被动局面，填补了国内空白，还对提高我国IC装备制造产业链的整体竞争力具有促进作用。

    名词：

    02专项：即《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目，因次序排在国家所列16个重大专项的第二位，在行业内被称为“02专项”。