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上海微电子采购Bumotec机床 加速中国光刻机研发


    去年,一台价值1.06亿元设备经空运从荷兰飞抵厦门,由于该设备价值高

,而且对保存和运输有着很高的要求——保存温度必须保持在23摄氏度恒温状

态下,为了避免影响设备的精度,在运输中也对稳定性有极高的要求。因此,

机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管,待货物装入特制温控

气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下,在完成紧急查验后当晚就放行。

上海微电子采购Bumotec机床加速中国光刻机研发

    没错,这台设备就是荷兰ASML的光刻机。铁流猜测,这台设备很有可能是

厦门当地政府与台湾联华电子合资的晶圆厂从荷兰ASML采购的。不过,由于西

方瓦森纳协议的限制,中国只能买到ASML的中低产品,这一点从厦门当地企业

进口的光刻机报价仅1亿人民币就可以看出来了。

    目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML,并已经占据了高达80%的市场份

额,垄断了高端光刻机市场,日本尼康在高端光刻机上完全被ASML击败,即便

尼康的ArF光刻机售价仅为ASML的一半也无补于事。Intel、台积电、三星用来

加工14/16nm芯片的光刻机都是买自ASML,格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆

厂的光刻机主要也是来自ASML。

    更关键的是,最先进的EUV光刻机全球仅有ASML能够生产,ASML在去年第三

季度和第四季度出售的两台EUV光刻机售价都超过1亿美元,落后EUV一代的ArF

光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元左右,从高企的报价和EUV光刻机全球

仅此一家出售可以看出,光刻机的技术门槛极高,是人类智慧集大成的产物。

    相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子

装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是能用来加工90nm芯片的光刻机,

技术差距说是鸿沟都不为过,正是因此,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依

赖进口。

    据消息人士披露,上海微电子订了一批Bumotec机床。Bumotec是瑞士斯达

拉格旗下的子品牌,能制造顶尖的加工光学仪器的机床,据说比ASML用的德国

机床还好点——一般人耳熟能详的那些高端机床,和斯达拉格不是一个世界的

,斯达拉格专攻高精尖制造领域的制造设备,所以知道这个公司的人非常少。

但名气小不意味着技术就不顶尖。

    在本土机床还存在一定技术差距的情况下,通过这种方式有助于提升中国

光刻机的研发进度和技术提升。诚然,在采购瑞士机床的同时,国内也要做好

国产化替代工作,实现两条腿走路。

    另外,关于上微和ASML合作的消息,有朋友在微信上留言,怀疑上微是不

是要当伪军,但其实并非如此。主要是上微的一些技术和ASML的专利比较那个

啥,然后ASML就打官司,但一直没结果,中国政府也在中间协调。最后ASML搞

的很烦了,索性就以合作的名义,拿一笔钱,就不打官司了。所以这个合作并

不意味着上微要当伪军。而是继续走自主研发之路,只不过在前行之中可能会

借鉴一些前人探索出来的捷径。

 

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